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考夫曼离子源中空阴极 Hollow Cathodes

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因产品配置不同,价格货期需要电议,图片仅供参考,一切以实际成交合同为准。考夫曼离子源中空阴极 Hollow Cathodes

离子源中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴极 Hollow cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴极更有优势.

离子源中空阴极 Hollow Cathodes 型号

Model

HFx

SHC1000

DSHC1000

Cathode

Yes

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Emission

Operational gas

None

Inert

Inert

Process gases

Inert & reactive

Inert & reactive

Inert & reactive

Power Controller

FC100x

e- Mission Power Pack

e- Mission Power Pack

 

Model

MHC1000

LHC1000

Cathode

Yes

Yes

Neutralizer

Yes

Yes

Orientation

Vertical / Horizontal

Vertical / Horizontal

Regulation

Emission

Emission

Operational gas

Inert

Inert

Process gases

Inert & reactive

Inert & reactive

Power Controller

e- Mission Power Pack

e- Mission Power Pack

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源霍尔离子源射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项****. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

 

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐                                   宝岛伯东: 王小姐
T: 86-21-5046-3511 ext 108              T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1322                            F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076 ( 微信同号 )      M: 886-939-653-958
qq: 2821409400 
www.hakuto-china.cn                        www.hakuto-vacuum.com.tw


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