HVA 真空阀门 11000 用在 OLED 镀膜机

2023/5/12 10:18:21 来源：网络作者：匿名

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国内某 OLED 镀膜机厂家配置伯东美国 HVA 真空阀门 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”阀门口径为主的标准不锈钢气动高真空闸阀,

HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:

阀门材质:
- 阀门主体	304 不锈钢
- 焊接波纹管轴封	AM - 350
阀门密封方式
- 高真空	氟橡胶
- 非常高真空	铜垫圈 / 氟橡胶
真空:
- 压力范围	高真空 1x10-9 mbar, 非常高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9 mbar l/S
- 差压关闭	1 bar ( 任意位置 )
- 开启前较大压力	≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）:
- 弹性体密封阀盖	150°C
- 金属密封阀盖	-开启温度：200°C -关闭值：150°C
- 驱动方式	手动 60 °c, 气动 60 °c
机制
手动：	手摇曲柄
电磁阀供电电压	120 VAC 50 /60 Hz
电磁阀可选电压	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
电磁阀位置指示器,较大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
气动送风：	80 psig
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)
公称通径: DN 16 - 800 mm

下图是某 OLED 镀膜机厂家配置上海伯东美国 HVA 高真空阀门

<span style=background-color:red>超高</span>真空闸阀

OLED 镀膜机主要面向有机半导体照明客户, 需要镀膜机性能更稳定, 器件效率更高, 性价比高,

对于生产 OLED 镀膜机的客户, 为了节省抽空时间和防止基片的污染, 会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样, 由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.

伯东美国 HVA 真空阀门已广泛应用于 OLED 镀膜机

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               宝岛伯东 : 王小姐
T: 86-21-5046-1322                 T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490                        F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076                   M: 886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw