LED专项使用扩散炉_其它-青岛育豪微电子设备有限公司

产品信息

产品详细

特点：

★关键件全部采用进口件，具有高可靠性。

★具有可编程的升、降温功能。

★具有断电启动紧急信号、超温启动紧急信号、较限超温启动紧急信号等多种安全保护功能。

★可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线较多有九步。

★曲线间可以任意链接、重复。

★具有高抗干扰能力。

★具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。

★育豪可为您提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统。

主要技术参数：

★可配工艺管数量：1~4管台； ★工作温度范围：400～1300℃；

★恒温区长度及精度：300～1000mm 600~1280℃±0.5℃；

★单点温度稳定性：600～1280℃±0.5℃24h； ★非常大可控升温速度：15℃min

★非常大降温速度：5℃min