单工位真空炉_其它-青岛育豪微电子设备有限公司

产品信息

产品详细

简单描述：

真空烧结炉广泛应用于半导体、冶金及其它行业的热处理、真空工艺处理

详细介绍：

★工作温度：400-1200oC
★单点温度控制精度：≤±1oC/24h

★等温区长度：200-400mm/±1mm
★升温功率：3-6KVA

★升温时间：（至1200℃）<750min
★保温功率：<3KVA

★重新定值重复性：1mm
★重新开机重复性：≤±1oC

★冷态真空度：5×10-3Pa
★真空式内径：Φ150-Φ200mm

★外型尺寸：2400×600×600
★总重量：约360kg

★设备工作条件：环境温度：10-45℃ 相对湿度：≤85% 电网电压：380KVA±10%

★真空室内配有舟托架（不锈钢）
★电动炉体移动速度0-400mmm/min(可调）

★可根据用户要求配数字真空计和电动放气阀