青岛育豪微电子设备有限公司
主营：扩散炉系列,真空炉系列,链式隧道炉系列,氢气炉系列,砷化镓单晶炉系列,LED专用设备,太阳能光伏扩散炉,磁性材料专用设备
主营：扩散炉系列,真空炉系列,链式隧道炉系列,氢气炉系列,砷化镓单晶炉系列,LED专用设备,太阳能光伏扩散炉,磁性材料专用设备
所在地:
山东 青岛
产品价格:
电议元/台(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2016-09-24
有效期至:
2016-10-24
产品详细
◆工作温度： 300~1200℃
◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制
◆恒温区长度： 920mm1350mm（可根据用户要求定制）
◆温区精度 (静态闭管测试)：
600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃
300℃&le工作温度&le600℃： ±1℃
◆单点温度稳定性(静态闭管测试)：
600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃24h
300℃&le工作温度&le600℃： ±1℃24h
◆温度斜变能力：
非常大可控升温速度(300～1300℃)：15℃min
非常大降温速度(1300～900℃)： 5℃min
◆气体流量设定精度： ±0.5％FS
◆气路系统气密性： 1×107pa.m3s
◆自动送料装置行程： ~2000mm
速度： 5~1000mmmin，SiC浆承重 20kg
◆装片数量 400片管
◆净化台洁净度 100级（10000级厂房）
◆三相五线制 380V±10，50Hz±10Hz；
◆冷却水： 2～4Kgfcm2，～8Lmin