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电子洁净厂房 净化工程

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复合式(Mixed Type)

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气

      (1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPAULPA过滤器将制程区域或工作区域高标准覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。   洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

     (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为较适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

 

     (3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。铝业网图片

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