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Veeco K465i外延设备滤芯

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Veeco K465i外延设备滤芯

产品说明:

该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯,安装于真空泵前,用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒;

2只/组(粗滤、细滤)

组成材料:

1、滤材: 耐高温玻纤滤料

2、支撑材料:双面304#不锈钢金属网

3、骨架:304#不锈钢菱形网

4、密封垫圈:硅发泡橡胶垫片

5、密封胶:硅橡胶

规格:

1、端盖:φ360*φ225,304#不锈钢

2、耐高温密封垫:φ340*φ265*T5

3、折数:一级(100μm):118折, 折高65mm;二级(25μm):88折,折高65mm

过滤效率:

1、粗滤:100μm=90%

2、细滤:25μm=99.95%

3、透气量:1000L/Sec/㎡

产品特性:

1、采用两级过滤工艺,分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。

2、波纹工艺,有效过滤面积增加,容污能力强,使用周期长。

3、滤料采用玻纤滤料,具耐高温、耐腐蚀,长期使用温度可达250度以上。

4、专项使用的高精度过滤材料,空隙均匀,过滤精度高,有效保护设备。

 

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