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氧化锌铝靶材ZAO靶材

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京迈研厂家直销 氧化锌铝靶材ZAO靶材 磁控溅射靶材 电子束镀膜蒸发料

纯度 99.99%

产品介绍

  ZnO:Al,采用直流磁控溅射工艺,室温下在载玻片上制备了氧化锌铝透明导电薄膜。

  制备AZO薄膜的方法有很多种,主要有磁控溅射法、金属农业生产体系物化学气相沉积法、脉冲激光沉积法、喷雾热分解法、分子束外延法及溶胶一凝胶法等。其中,磁控溅射法制AZO薄膜具有较高的沉积速率、低的衬底温度和良好的衬底粘附性等优点而被广泛的应用

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