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威固特VGT-1018S锗清洗机

产品信息

产品详细

型号:VGT-1018S

产品特点

1,腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;

2,工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可

设定;

3,机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液

路布置区域。

4,药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统

5DI槽配有在线式水质检测装置;

6,配有分体式废液回收系统;

7,配备自动灭火系统;

8,环保型自动、智能清洗系统

应用范围:

用于锗片镀膜前处理的清洗,也可以用于其他晶片的清洗腐蚀;
  工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件;
  设备形式:室内放置型;
  设备结构:一体式、中点集成型


技术参数:

超声波功率:900w

超声波频率:28khz/48khz

换能器数量:18

电源电压:三相五线380V


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