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集成电路成品制备用超纯水抛光树脂

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  杜笙(tulsion) MB-106UP超纯水用抛光树脂

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    一般用于超纯水处理系统末端,来保证系统出水水质能够维持用水标准。以及对TOC、SIO2都有一定的控制能力。抛光树脂出厂的离子型态都是H、OH型,装填后即可使用无需更新。一般用于半导体行业。

纯水/高纯水/超纯水/出水高可达18M(电阻率)

超纯水抛光树脂/EDI出水抛光树脂/双较反渗透抛光树脂/混床抛光树脂

相关案例:

富士康

三星电子

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超纯水应用行业:

1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;

2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;

3、实验室和中试车间用超纯水;

4、汽车、家电表面抛光处理;

5、电厂化学水处理;

5、光电子产品;

6、制药工业、健康行业工艺用水;

7、其他高科技精微产品。

架构:交联聚苯乙烯

特点:核子级强酸型阳 及核子级强碱型阴 以1:1.5 体积比预先混合的混床级离子交换树脂,专项使用于高纯水系统抛光

适用于:电子产业,半导体、映像管、激光、健康、镜头和电路板等行业

交换容量:T-46 1.8 meq/ml    A-33  1.0 meq/ml

粒度:0.3-1.2mm          粒径分布:16-50

PH范围:0-14                                                                                                  0.1μS/cm=10MΩ·cm

大温度:80℃

出水电阻率:EDI出水进水可达17.5MΩ·cm

产水量:60-80吨/升

不能更新,一次性

一般用于超纯水处理系统末端,来保证系统出水水质能够维持用水标准。一般出水水质都能达到18兆欧以上,以及对TOC、SIO2都有一定的控制能力。抛光树脂出厂的离子型态都是H、OH型,装填后即可使用无需更新。一般用于半导体行业。

常规工艺设计:

预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→

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