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KRI 霍尔离子源 eH 400

产品信息

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因产品配置不同,价格货期需要电议,图片仅供参考,一切以实际成交合同为准。

美国 KRI 霍尔离子源 eH 400
上海伯东代理国外进口进口 KRI 霍尔离子源 eH 400 低成本设计提供高离子电流, 霍尔离子源 eH 400 尺寸和离子能量特别适合中小型的真空系统, 可以控制较低的离子能量, 通常应用于离子辅助镀膜, 预清洗和低能量离子蚀刻.
尺寸: 直径= 3.7“  高= 3”
放电电压 / 电流: 50-300eV / 高等
操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 农业生产体系前体

KRI 霍尔离子源 eH 400 特性
• 可拆卸阳极组件 - 易于维护; 维护时, 较大限度地减少停机时间; 即插即用备用阳极
• 宽波束高放电电流 - 均匀的蚀刻率; 刻蚀效率高; 高离子辅助镀膜 IAD 效率
• 多用途 - 适用于 Load lock / 非常高真空系统
• **的等离子转换和稳定的功率控制

KRI 霍尔离子源 eH 400 技术参数:

型号

eH 400 / eH 400 LEHO

供电

DC magnetic confinement

  - 电压

40-300 V VDC

 - 离子源直径

~ 4 cm

 - 阳极结构

模块化

电源控制

eHx-300高等

配置

-

  - 阴极中和器

Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode

  - 离子束发散角度

> 45° (hwhm)

  - 阳极

标准或 Grooved

  - 水冷

前板水冷

  - 底座

移动或快接法兰

  - 高度

3.0

  - 直径

3.7

  - 加工材料

金属
电介质
半导体

  - 工艺气体

Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

  - 安装距离

6-30”

  - 自动控制

控制4种气体

  • 可选: 可调角度的支架; Sidewinder

    KRI 霍尔离子源 eH 400 应用领域:
    • 离子辅助镀膜 IAD
    • 预清洁 Load lock preclean
    • In-situ preclean
    • Low-energy etching
    • III-V Semiconductors
    • Polymer Substrates

    1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项****. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射沉积 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源 (离子枪) 中国总代理.

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐                                   宝岛伯东: 王小姐
T: 86-21-5046-3511 ext 108              T: 886-3-567-9508 ext 161
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M: 86 152-0195-1076 ( 微信同号 )      M: 886-939-653-958
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