KRI 考夫曼离子源 KDC 160

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KRI 考夫曼离子源 KDC 160
上海伯东代理国外进口进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 160是目前考夫曼 KDC 系列较大,离子能量较强的栅极离子源, 适用于已知的所有离子源应用, 离子源 KDC 160 高输出设计,较大电流超过 1000 mA. 无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计,标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 800 mA.

KRI 考夫曼离子源 KDC 160 技术参数

• 可选: 可调角度的支架
  
  KRI 考夫曼离子源 KDC 160 应用领域
  溅镀和蒸发镀膜 PC
  辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
  表面改性, 激活 SM
  离子溅射沉积和多层结构 IBSD
  离子蚀刻 IBE

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