主营:铝溅射靶材,溅射靶材,磁控溅射靶材,铝蒸镀材料,蒸镀材料,铝高纯材料,高纯材料,稀土材料
所在地:
广东 深圳
产品价格:
6500元/件(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2021-11-30
有效期至:
2021-12-30
产品详细
电子级三氯氧磷
一、分子式:POCl3
二、分子量:153.35
三、理化性质:
无色透明挥发性液体,具有强烈的性气味。易水解于潮湿的空气中,生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃,沸点为102℃,相对密度为1.675。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时,仍很稳定。遇到大量水时会发生有毒性和腐蚀性。
四、用途:
主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,是芯片制程中必须的电子化学品,同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
供应半导体化学气相沉积材料,专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料,TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor,TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material,TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。