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电子级反式-1,2-二氯乙烯DCE

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电子级反式-12-二氯乙烯/DCE/TRANS-LCDCE

名称

反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC

化学式

 C2H2Cl2

相对分子量

96.94

CAS

156-60-5

理化性质

无色略带气味液体,熔点-57℃,沸点48℃,密度1.265g/ml。易燃,其蒸气与空气可形成性混合物。与能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。

主要用途:

高纯度氯源,主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)、光伏制造业所需的电子化学品。

CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料

Dielectrics PMD/IMD

TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB

Low K Dielectrics

4MS ,OMCATS

High K Dielectrics

TAETO (Ta2O5 Precursor )

TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor)

TMA (Al2O3 Precursor)

Metal Gate and Interconnect Metal

TDMAT (TiN Precursor )

TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )

Low-Temp Nitride/Oxide

HCDS

Diffusion

POCl3

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