电子级反式-1，2-二氯乙烯DCE_其它-深圳市旺达康科技有限公司

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电子级反式-1，2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC（DCE）

名称	反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC
化学式	C2H2Cl2
相对分子量	96.94
CAS号	156-60-5
理化性质	无色略带气味液体，熔点－57℃，沸点48℃，密度1.265g/ml。易燃，其蒸气与空气可形成性混合物。与能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。

主要用途:

高纯度氯源，主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）、光伏制造业所需的电子化学品。

CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料

Dielectrics PMD/IMD	TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB
Low K Dielectrics	4MS ,OMCATS
High K Dielectrics	TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor)
Metal Gate and Interconnect Metal	TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
Low-Temp Nitride/Oxide	HCDS
Diffusion	POCl3