深圳市旺达康科技有限公司
主营：铝溅射靶材,溅射靶材,磁控溅射靶材,铝蒸镀材料,蒸镀材料,铝高纯材料,高纯材料,稀土材料
主营：铝溅射靶材,溅射靶材,磁控溅射靶材,铝蒸镀材料,蒸镀材料,铝高纯材料,高纯材料,稀土材料
所在地:
广东 深圳
产品价格:
35000元/件(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2021-11-30
有效期至:
2021-12-30
产品详细
电子级磷酸三甲酯TMPO
一、分子式：PO(OCH3)3
二、分子量：140.07
三、理化性质
无色液体，有水果味，熔点-46℃，沸点197℃，密度1.215g/ml。易燃，易溶于水，难溶于乙醇。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。
供应半导体化学气相沉积材料，专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。