深圳市旺达康科技有限公司
主营：铝溅射靶材,溅射靶材,磁控溅射靶材,铝蒸镀材料,蒸镀材料,铝高纯材料,高纯材料,稀土材料
主营：铝溅射靶材,溅射靶材,磁控溅射靶材,铝蒸镀材料,蒸镀材料,铝高纯材料,高纯材料,稀土材料
所在地:
广东 深圳
产品价格:
3500元/件(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2021-11-30
有效期至:
2022-05-30
产品详细
电子级六甲基二硅氮烷HMDS
别名：六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亚胺六甲基二硅氮烷
无色透明液体。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化剂存在下，与醇或酚反应，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷与NH3反应来制取。
中文名：六甲基二硅氮烷
英文名：Hexamethyldisilazane
分子式：C6H19NSi2
分子量：161.39
CAS号：999-97-3
EINECS号：213-668-5
用途：
主要用于晶圆制造过程中光致刻蚀剂的粘结助剂。