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供应1600℃三温区 真空气氛管式电炉

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国产程序 500℃以≤5℃//m下SK-G06163-3,500℃-80≤5℃0℃之间SK-G08163-3,800℃以上≤5℃/min
进口程序 500℃以≤5℃//m下SK-G06165-3,500℃-80≤5℃0℃之间SK-G08165-3,800℃以上≤5℃/min
温 区 温 区 1 /温 区 2/温 区 3
较高温度 1600℃
加热区长度 160mm/230mm/160mm230m2230m230mm30mmm/270mm/300mm/270mm
恒温区长度 80mm/120mm80mm/110mm110mm110mm110mm100mm/150mm10mm
加热元件 硅钼棒
使用温度 1500℃
额定功率 7Kw硅钼棒硅钼棒硅钼棒硅钼棒硅钼棒硅钼棒9Kw
工作电压 220V
温度控制 国产程序控温系统可编辑50段程序控温;进口程序控温系统可编辑40段程序控温;

允许较高温差

两个温区温差应<400℃
刚玉管尺寸 500℃以≤5℃/0/m下Φ60X1200mm,500℃-80≤5500℃0℃Φ80X1500mm,800℃以上≤5℃/min

炉管材料

刚玉管
配置炉管时升温速度 500℃以下≤5℃/min,500℃-800℃之间≤10℃/min,800℃-1000℃之间≤5℃/min,1000℃-1400℃之间≤3℃/min,1400℃-1600℃之间≤2℃/min
真空/气氛总成配套(可选) 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统;
气路控制系统:气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统;
计算机集散控制系统; CVD电炉系统
外形尺寸(深x宽x高) 796×1150×650mm两个温区温差两个温区温差796×1150×650mm
重量 140kg×0mm两个温区温差两个温温差796差×170kg×650mm
标准配置 气路总成一套(含真空压力表),刚玉管一支,刚玉堵塞四支/舟一支,钩子一把,高温手套一副

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