安徽贝意克设备技术有限公司
主营：管式炉,箱式炉,CVD系统,PECVD系统,升华仪
主营：管式炉,箱式炉,CVD系统,PECVD系统,升华仪
所在地:
安徽 合肥
产品价格:
面议/台(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2023-09-12
有效期至:
2023-10-12
产品详细
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项目
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主要技术指标
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数据
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规格型号
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BTF-1200C-RTP-180
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温度控制
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温度点
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1200℃
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额定温度
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1100℃
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稳定状态温度范围
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100～1050℃
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温度测量
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?0.2℃
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温度控制重复性
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?1℃
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温度控制
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?1℃
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温场均匀性
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?2℃
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温度状态工艺时间
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2～100（100～1050℃）
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升温速率
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30℃/S（可根据客户需求定制）
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降温速率
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1～300，可以采用打开炉体降温或移除炉管降温同时启动流量计阀控控制气体冷却
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温度控制模式
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智能模糊全闭环控制
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触摸屏尺寸
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7"LCD 工控电脑
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物理指标
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功率（KW）
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24
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额定电压
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220V/AC380～400V 50-60HZ 自动匹配
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传感器类型
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K型
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反应腔室内径尺寸
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Φ180?580
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式样有效空间
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6
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抽气端口尺寸
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KF25
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供气口尺寸
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Φ6mm双卡套
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冷却方式
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自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2）
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外形净尺寸
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长920?深500?高560mm
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重量
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约80Kg
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