单工位快速退火炉

设备特点：

该款设备是由单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、进出气口及操作控制界面组成，内控热电偶用于控制RTP滑轨炉内的温度，伺服电机用于控制丝杆的转动速度达到控制炉管（样品）移除炉膛的速度，从而用于调节炉管（样品）的降温速度，与之相反可以得到较快的升温速率；出气口通过连接手动挡板阀、波纹管用于对石英舱体内的真空获取，进气口除用于通入保护气体或反应气体外，还可以用于移出炉膛后通入气体带走热量的快速降温，以此获得较高的降温速率。

结构与原理：

设备组成：单端封口小型红外滑轨炉、 电机调速装置、高真空机组、流量控制系统及工控电脑操作系统。

（1）单端封口小型红外滑轨炉

该加热系统采用全部先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体炉管可实现自动分离，炉体上下两半设计，气动弹簧支撑结构让操作者可各角度自由打开，安全可靠。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的非常高温保护涂层，除能够保持其能量的低损耗，还能增强高温稳定性，可有效减少热能损耗。

该滑轨炉加热系统由红外灯管加热，采用内插热电偶控温的方式实时显示石英腔体内部温度，加热区长度为370mm，恒温区长度200mm，确保两个φ100*100mm的夹具可放置在恒温区内，为让样品在炉管内的中心位置，考虑石英置物架的高度，石英管管径综合考虑在210mm，恒温区200mm内的温场均匀性控制在?5℃，升温速率≤30℃/s, 整个石英腔体直接划出炉膛，样品降温过程可在通入一定量保护气体的条件下快速降温，平均降温速率可达到2℃/s， 试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完成工艺的同时大大降低了间接污染试样的可能性。采用石英管堵维持炉内的温场均匀性及石英舱体内的洁净度。

（2）电机调速装置：

伺服电机调速装置用于控制丝杆的转动速度，达到控制炉管部分的整体移动速度（含样件），以此调整快速升降温的目标速率，电机旋转速度实时显示并且可控，以获得移动速度，满足降温时工艺参数要求。

（3）高真空机组：

   该高真空机组系统主要配备宁波鲍斯产DRV-10真空机械泵及KYKY的分子泵，空炉、冷态、洁净、从泵启动开始到100Pa ≤10min，压升率≤5Pa/min。

1、 技术指标

        环境温度：5~32℃

空气相对湿度：≤85%

工作电压：AC220V?10%  50/60HZ

功率：1KW

系统整体较限真空度：5.0?10^-5Pa

实验真空度：5.0?10^-3Pa

2、 主要配置

（1） 机械泵：抽气速率：4L/S；

                        容油量：1.1L；

                        电机功率：400W；

（2） 分子泵：抽气速率：100L/S；

                        较限压强：6?10^-6Pa；

                        启动时间：＜2min；

                        额定转速：4300转/分

                        冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；

           （3）复合真空计：测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）；

工作模式：手动/自动；

电阻单元参数：

规管型号：ZJ-52T电阻规

测量范围：1.0?10⁵Pa~1.0?10^-1Pa

有效范围：2.5?10³Pa~5.0?10^-1Pa

              电离单元参数

规管型号：ZJ-27电离规

可测范围：5.0Pa~1.0?10^-5Pa

有效范围：1.0Pa~5.0?10^-5Pa

规管除气方式：焦耳去气

（4）流量控制系统：

该系统配置一路流量控制器，用于真空下的气氛烧结，以及用于降温过程中的通入一定量的气体来达到目标降温速率。

质量流量控制器：流量计标准量程：1000sccm，

                工作温度：5~45℃；

                工作压差：0.1~0.5Mpa；

                大压力：3Mpa；

                准确度：?1.5% FS?1.5% FS

（5）工控电脑及操作系统：

该系统人机界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，显示器可直接显示真空度、气体流量、热电偶温度、电机旋转速度等信息。

（7）其他参数：

1. 底座固定采用福马轮旋转方式，便于固定及移动；

2. 设备高度要求操作平台离地高度700mm， 便于平台操作。

3. 设备石英腔体内样品支撑架及固定夹具托盘等相关备附件由乙方提供。