主营:管式炉,箱式炉,CVD系统,PECVD系统,升华仪
所在地:
安徽 合肥
产品价格:
面议/套(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2023-09-12
有效期至:
2023-10-12
产品详细
一、设备特点:
1、本设备提供一个五温区的超长温场,五个温区可单独控制
2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理,上下可电动开启。
3、流量计和加热采用模块化设计,便于维护保养。
4、加热元件采用康泰尔掺钼合金电阻丝,zui高使用温度可以达到1200度,使用寿命长,温场流场均匀。
5、采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。
6、设备集成化设计、以及集成化管理,美观方便。
二、设备组成:
加热系统,炉管转动系统,螺旋送料系统、供气系统、真空系统、工控及操作系统。
1、加热系统:
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其较低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。
高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶启动紧急信号保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。
2、炉管转动系统:
炉管转动系统可以让炉管360?匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀。
3、螺旋送料器:
先将样品储存于样品罐中,通过螺旋送料器将样品送入石英管内。样品送完之后送料杆退回到原始位置。周而复始,达到自动送料。
4、供气系统:
供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与准确双卡套接头连接组成,触摸屏控制。
5、真空系统:
真空机组,内部安装BSV-60机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。
三、加热主体设备技术参数:
腔体尺寸 |
外径Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可选 (中间异型区域尺寸) |
炉膛保温材料 |
氧化铝纤维 |
表面温度 |
≤60℃ |
加热元件 |
进口KTL电阻丝 |
加热区数量 |
5区,每个温度单独控制,使温场均匀性更好 |
加热区长度 |
300 300 300 300 300mm |
恒温区长度 |
真空条件两端加氧化铝管堵的情况下,两个温区设定同一温度是恒温区可达1200mm |
zui高温度 |
1200℃ |
建议长时间使用温度 |
<1100℃ |
控温精度 |
?1℃ |
升温速率 |
0-20℃/min,建议升温速率10℃/min |
设备功率 |
28KW |
设备工作电源 |
380V/50HZ |
热电偶型号 |
K型 |
控制器 |
可编程控温仪表,PID调节,升、降保温全自动 |
控温方式 |
人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制 |
无纸记录 |
内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据 |
结构描述 |
设备可对半电动开启,加快冷却速度、表面温度低于60℃ |
转动密封收集系统 |
炉管一端配有不锈钢密封可转动水冷法兰、螺旋送料装置 |
四、3路供气系统参数
连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程(N2) |
500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型号根据要求定制) |
zuida压力 |
3MPa |
接口 |
Φ6 |
显示 |
液晶屏显示 |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
压力真空表 |
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止阀 |
Φ6卡套接头 |
五、真空机组参数:
空气相对湿度 |
≤85% |
工作环境 |
5℃~40℃ |
工作电电压 |
220V?10% 50~60HZ |
功率 |
1千瓦 |
抽气速率 |
60m?/h |
较限真空 |
5X10-1Pa |
工作压力范围 |
1.01325X105~1.33X10-2Pa |
耐压值 |
0.03MPa |
容油量 |
1.1L |
进气口口径 |
KF40 |
排气口口径 |
KF40 |
连接方式 |
采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连 |
电阻真空计参数: |
|
配用规管: |
ZJ-52T电阻规, |
测量范围: |
10 5 ~10 -1 Pa, |
测量路数: |
1路 |
控制范围: |
5?10 3 ~5?10 -1 Pa, |
控制方式: |
继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载 |
电源: |
90-260V/50Hz或220V ? 10% 50Hz, |
功耗: |
20W |