伯东企业（上海）有限公司
主营：单双级旋片泵,干泵,罗茨泵,涡轮分子泵,真空测量,检漏仪,cti,低温
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所在地:
上海 上海
产品价格:
面议/个(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2023-12-13
有效期至:
2024-06-13
产品详细
KRI 霍尔离子源 eH 200
上海伯东代理国外进口进口 KRI 霍尔离子源 eH200 是霍尔离子源型 eH 系列中尺寸较小, 低成本设计离子源. 霍尔离子源 eH200 适用于小型真空腔内, 例如研发分析, 薄膜沉积和离子清洗. 霍尔离子源 eH200 操作简单是理想的生产工具.
KRI 霍尔离子源 eH 200 技术参数：
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型号 |
eH 200 |
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供电 |
DC magnetic confinement |
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- 电压 |
40-300V VDC |
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- 离子源直径 |
~ 2 cm |
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- 阳极结构 |
模块化 |
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电源控制 |
eHx-300高等 |
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配置 |
- |
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- 阴极中和器 |
Filament or Hollow Cathode |
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- 离子束发散角度 |
> 45° (hwhm) |
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- 阳极 |
标准或 Grooved |
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- 水冷 |
无 |
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- 底座 |
移动或快接法兰 |
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- 高度 |
2.0 |
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- 直径 |
2.5 |
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-加工材料 |
金属 |
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-工艺气体 |
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
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- 安装距离 |
6-24” |
|
- 自动控制 |
控制4种气体 |
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