HVA 真空阀门应用于E-Beam 镀膜机

2023/5/12 10:16:42 来源：网络作者：匿名

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某**** Sputtering E-Beam PVD 镀膜机系统采用 HVA 真空阀门 11000, HVA 真空阀门安装在分子泵口便于泵的检修,同时外系统停机时不破坏系统真空, 只要对泵内部进行破真空即可.

HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:

阀门材质:
- 阀门主体	304 不锈钢
- 焊接波纹管轴封	AM - 350
阀门密封方式
- 高真空	氟橡胶
- 非常高真空	铜垫圈 / 氟橡胶
真空:
- 压力范围	高真空 1x10-9 mbar, 非常高真空 1x10-10 mbar
- 漏率	< 2x10-9 mbar l/S
- 差压关闭	1 bar ( 任意位置 )
- 开启前较大压力	≤ 30 mbar
烘烤温度（不含电磁阀）:
- 弹性体密封阀盖	150°C
- 金属密封阀盖	-开启温度：200°C -关闭值：150°C
- 驱动方式	手动 60 °c, 气动 60 °c
机制
手动：	手摇曲柄
电磁阀供电电压	120 VAC 50 /60 Hz
电磁阀可选电压	24, 200, 240 VAC 50/60 Hz 或 12, 24 VDC
电磁阀位置指示器,较大	115 VAC 或 28 VDC, 20 mA
气动送风：	80 psig
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)
公称通径: DN 16 - 800 mm

E-Beam 镀膜机设备组成: 系统主要由蒸发室, 电子枪, 进样室 (可选) , 旋转基片加热台, 工作气路, 抽气系统, 真空测量, 电控系统及安装机台等部分组成.

基片在做实验前一般需要做镀前预处理, 镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面, 为较后获得高质量镀层作准备, 要进行脱脂, 去锈蚀, 去灰尘等工作, 也有客户在 LOADLOCK 腔进行射频反应清洗, 通过使用上海伯东 KRI 离子源将基片的表层打掉, 得到更光滑和均匀的表面.

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               宝岛伯东 : 王小姐
T: 86-21-5046-1322                 T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490                        F: 886-3-567-0049
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