输入电源
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- 220VAC 50/60Hz, 单相
- 800W (包括真空泵)
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等离子源
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一个300W,13.5MHz的射频电源安装在移动柜内
(点击图片查看详细资料)
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磁控溅射头
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- 一个 2英寸磁控溅射头(带有水冷夹层),采用快速接头与真空腔体相连接
- 靶材尺寸: 直径为50mm,非常大厚度6.35mm
- 一个快速挡板安装在法兰上(手动操作,见图左3)
- 溅射头所需冷却水:流速10ml/min(仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机)
- 同时可选配1英寸溅射头
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真空腔体
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- 真空腔体:160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H,采用高纯石英制作
- 密封法兰:直径为165 mm . 采用金属铝制作,采用硅胶密封圈密封
- 一个不锈钢网罩住整个石英腔体,以屏蔽等离子体
- 真空度:10-3 Torr (采用双较旋片真空泵)
- 10-5 torr (采涡旋分子泵)
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载样台
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- 载样台可旋转(为了制膜更加均匀)并可加热
- 载样台尺寸:直径50mm (非常大可放置2英寸的基片)
- 旋转速度:1 - 20 rpm
- 样品的较高加热温度为700℃,(短期使用,恒温不超过1小时),长期使用温度500℃
- 控温精度+/- 10℃
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真空泵
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可选用直联式双较旋片泵,也可选用德国制作的分子泵系统
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薄膜测厚仪
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- 一个准确的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上,可实时监控薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å
- LED显示屏显示,同时也输入所制作薄膜的相关数据
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外形尺寸
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质保和质量认证
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使用注意事项
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- 这款2英寸的射频溅射镀膜仪主要是用于在单晶基片上制备氧化物膜,所以并不需要太高的真空度
- 为了较好地排出真空腔体中的氧气,建议用5%H2+95 %N2对真空腔体清洗,可有效减少真空腔体中的氧含量
- 请用纯度大于5N的Ar来进行等离子溅射,甚至5N的Ar中也含有10- 100 ppm的氧和水,所以建议将钢瓶中的惰性气体通过净化系统过后,再导入到真空腔体内
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