首页 产品 新闻 介绍 留言

电子级正硅酸四乙酯TEOS

产品信息

产品详细

电子级正硅酸四乙酯TEOS

名称

正硅酸四乙酯(TEOS)

化学式

C8H20O4Si

相对分子量

208.33

CAS

78-10-4

理化性质

无色透明液体,熔点-77℃,沸点168.5℃,密度0.9346g/ml。在空气中较稳定;微溶于水,在纯水中水解缓慢;在酸或碱的存在下能加速水解作用。

主要用途

主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。

供应半导体化学气相沉积材料,专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料,TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB PrecursorTDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K MaterialTEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。

联系方式

相关产品

深圳市旺达康科技有限公司 > 铝产品 > 电子级正硅酸四乙酯TEOS
拨打电话 立即询盘