电子级硼酸三甲酯TMB_其它-深圳市旺达康科技有限公司

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电子级硼酸三甲酯TMB

一、分子式: B(OCH3)3

二、分子量:103.92

三、理化性质

无色液体，无明显气味，性质稳定。熔点-29℃，密度0.915g/ml，沸点67～68℃。易燃，

与能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸，能溶剂混溶。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积（CVD）生成硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、

分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。

CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料

Dielectrics PMD/IMD	TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB
Low K Dielectrics	4MS ,OMCATS
High K Dielectrics	TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor)
Metal Gate and Interconnect Metal	TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor )
Low-Temp Nitride/Oxide	HCDS
Diffusion	POCl3