圆管溅射靶材表面喷砂处理

一 工件描述

工件型号：靶材

喷砂区域：靶材全部外表面

工件尺寸：不等

产品材质：铝、铜、钼、钛、金、银等多种

工件重量： <2600Kg

工件喷砂前状态： 干燥，无油，无脂

清理方法: 喷砂

清理目的：清理表面的杂质、氧化皮等。

二靶材介绍

靶材--是对物理气相沉积技术应用的镀膜材料形象而直观的称呼。在沉积过程中，膜材要受到电子束、离子束或放电离子的轰击，就象被射击的靶子一样，所以通俗的将这类材料叫做靶材

靶材种类按其成分可分为：纯金属、合金和化合物。
纯金属：铝、金、银、铬、镍、钽、钛、铜、锡等。
合金：钛铝、钛铬、钛硅、镍铬、镍铜、铬钼、铬钨、铬钒、镍钒、铽铁钴、铟银锑碲等。
化合物：氧化物、硅化物、碳化物、氮化物等。
主要靶型：同轴圆柱靶、圆形平面靶、矩型平面靶、旋转式圆柱矩形靶、S-枪靶、特殊结构靶等

 

三  设备描述

1喷砂室体

2砂料的回收

3 砂料的分选

4喷咀装置

5输送系统

6除尘器

7控制系统

8安全装置

四 喷砂室

喷砂室体能有效防止砂料及粉尘外泄，喷砂室体由冷轧钢板焊接而成，外表面喷塑，内表面贴耐磨胶皮防护，可以有效的保护室内的使用寿命，喷砂室分为三个部位，上工件位、喷砂加工位、吹净室位。

 

五 砂料的回收

喷砂后的砂料及粉尘通过风力循环送至储砂斗。主回砂管由特制的高耐磨无缝钢管制作而成，管内衬托高耐磨的硅胶板，可以保护管道的磨损。回收方式采用上进风，下抽的形式，有效的把砂料回收到储砂斗内，回收效率可达到到99%。

六 砂料分选

通过回收上来的砂料进入砂料循环系统，该砂料循环系统配备了风选装置，通过风选装置，破损的砂料及粉尘被分离出来，风选的风量大小可以调整。通过风选后的砂料进入到喷砂仓中，粉尘被分离出去，进入到除尘器中。该分选方式是采用重心、高速旋转的方式。

七 喷咀装置

该喷砂设备配备了64 套喷咀，分为4组装置，每组16支：

-一套夹持16 个喷咀的夹持装置，负责喷工件的靠前工位的顶面

-一套夹持16 个喷咀的夹持装置，负责喷工件的第二工位顶面

-一套夹持16 个喷咀的夹持装置，负责喷工件的靠前工位的底面

-一套夹持16 个喷咀的夹持装置，负责喷工件的第二工位底面

 

喷嘴可以比较容易的安装在相应的夹具上，

有螺丝固定。维护门能让操作者便利地进出室体更换工装夹具。

工件进入工作位置后，所有的喷咀移都由摆动电机摆动，方便工件喷砂的均匀性。

八 输送系统

输送滚轴为有经验制作，输送驱动电机采用变频调整，以满足客户的工艺需求。当工件在不喷砂时输送时的速度为高度运行，当工件在喷砂加工时输送时的速度可设为（高、中、低）速度运行。喷砂工作结束后，停在指定位置，如不能再指定位置停止时，由尾端感应装置来探将其自动停止，以防工件掉入地面。出厂前我公司自行设定好高、中、低运行速度，设备到客户工厂试运行时设定较终数据

 

九 除尘系统

该设备配备了一台干式除尘器，用于清理喷砂过程形成的粉尘，除

尘器安装于喷砂室体旁边。

该除尘器为虑筒式除尘器，压缩空气通过脉冲阀控制通过虑筒。

经除尘器后洁净的气体通过换气扇及消音器直接排出。

粉尘经过闸阀落入到底部仓而排到废料箱。

十 控制系统

控制系统包括一套西门子 的PLC 和一个手持式可以移动的带触摸屏输入单元。可移动的输入单元用于喷砂程序储存、喷砂参数输入更改及错误信息报告。所有相关的参数象砂料量、喷砂压力、气体消耗量、垂直轴的开始停止位置、喷砂数量、喷砂时间、喷咀位置状态等都将被储存并进而控制喷砂过程。如果这些参数中某个出现异常，喷砂过程将自动停止且相关的错误信息会被清晰的显示出来。

 

可移动的输入单元通过一个很长的通信电缆连接到设备控制盒。该移动单元配备了彩色触摸屏，所以不需要键盘输送，同时为防止灰尘，为操作者准备了一个特殊的罩子保护该移动输入单元。