青岛育豪微电子设备有限公司
主营：扩散炉系列,真空炉系列,链式隧道炉系列,氢气炉系列,砷化镓单晶炉系列,LED专用设备,太阳能光伏扩散炉,磁性材料专用设备
主营：扩散炉系列,真空炉系列,链式隧道炉系列,氢气炉系列,砷化镓单晶炉系列,LED专用设备,太阳能光伏扩散炉,磁性材料专用设备
所在地:
山东 青岛
产品价格:
电议元/台(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2016-09-24
有效期至:
2016-10-24
产品详细
产品说明：
扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
主要技术指标：
★可处理硅片尺寸：2&mdash8英寸
★外型形式：卧式1&mdash4管结构
★工作温度：200℃&mdash1300℃
★恒温区长度及精度：200mm&mdash1100mm&le±0.5℃
★单点温度稳定性、重复性：&le±0.5℃／24h
★温度斜变：可控升温速率20℃／min，
★可控降温速率：5℃／min
★送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
★气路系统：1&mdash5路工艺气体／管
★气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
★控制方式：工控机、触摸屏