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SuperViewW光学3D表面轮廓仪

产品信息

产品详细

SuperViewW光学3D表面轮廓仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等);

几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)。

台式光学轮廓测量仪

产品特点

1、干涉物镜

不通倍率的镜头,适应于从超光滑到粗糙度各种表面类型的样品。

2、双通道气浮隔振系统

外接气源和加压装置直接充气的双通道气浮隔振系统,可有效隔离地面传导的振动噪声。

3、声波隔振防护

仪器外壳与内部运动机构采用了分离式设计,有效隔离了声波振动的传导。

4、水平调整装置

倾斜调整旋钮,调整条纹宽度,提高3D图像的重建精度。

5、便携式操纵杆

采用人体工程学设计,集成了XYZ三轴位移和速度、光源亮度的自动控制,并配有紧急停止按钮。

6、真空吸附台

专为半导体晶圆片定制的真空吸附台,确保样品在测量过程中不受空气中微弱气流扰动的影像。

7、3D重建算法

自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,测量精度可达亚纳米级别。

 

自研3D显微测量软件平台Xtremevision Pro

台式光学轮廓测量仪

Xtremevision Pro

全自主开发的第二代显微3D测量软件平台,集成了图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量等四个大的功能模块,能够适配中图W系列、VT系列、WT系列所有3D仪器机型,可自主识别机型种类,二合一机型可在白光干涉和共聚焦显微镜中做到自动切换扫描模式。

Xtremevision Pro 移植了中图在影像闪测领域的成功经验,重构了显微影像测量功能,可针对微观平面轮廓尺寸的点、线间的距离、角度、半径等参数进行直接测量和自动匹配测量。

 

自动化mark点识别坐标定位自动化功能

台式光学轮廓测量仪

Mark点影像识别自动坐标位置校正,多区域坐标点自动定位测量与分析,可组合式完成粗糙度、轮廓尺寸的批量自动化测量。

 

自动拼接功能

台式光学轮廓测量仪

SuperViewW光学3D表面轮廓仪支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量。

 

应用领域图片

SuperViewW光学3D表面轮廓仪可对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

台式光学轮廓测量仪

 

部分技术指标

型号 W1
光源 白光LED
影像系统 1024×1024
干涉物镜

标配:10×

选配:2.5×;5×;20×;50×;100×

光学ZOOM

标配:0.5×

选配:0.375×;0.75×;1×

物镜塔台

标配:3孔手动

选配:5孔电动

 

XY位移平台

尺寸 320×200㎜
移动范围 140×100㎜
负载 10kg
控制方式 电动
Z轴聚焦 行程 100㎜
控制方式 电动
Z向扫描范围 10 ㎜
主机尺寸(长×宽×高) 700×606×920㎜

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。

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