好工艺才有好性能，真空设备工艺和环境的要求

在真空工艺应用中，真空设备需要满足真空工艺各类参数需求。为了更好的实现这一需求，不仅对真空设备性能有要求，同时也需要环境能够给设备提供良好的运作条件，保证设备稳定运行，好环境才有好性能。

我们把没有特殊要求的真空工艺过程称之为常规真空工艺，这类工艺对环境的要求具有一定的普遍性，主要包括以下几点：

1、保证处于真空状态或真空中的真空设备零件机器表面，没有积存的污染源，包括尘埃、铁屑、锈蚀等。

2、真空设备的真空室表面要光滑，气孔，无死空间，内焊缝无影响真空的缺陷。

3、高真空设备中，真空室内的运动部件不得用机油作润滑剂，而要用饱和蒸气压低的扩散泵油、硅油作润滑剂。法兰、大门、观察窗的密封部位可涂以高真空油脂。

4、无油非常高真空系统要避免油蒸气影响工作介质的纯度、表面特性或工作性能，为具体的工艺过程提供清洁的非常高真空环境。

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