主营:气体流量计,质量流量计,气体质量流量计,显示仪,电磁阀,相关配件
所在地:
北京 北京
产品价格:
电议元/台(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2014-06-27
有效期至:
2014-07-27
产品详细
北京堀场汇博隆准确仪器有限公司有经验供应多领域质量流量计,气体质量流量计等产品。 选购联络方式:400-018-8101
本产品广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
S48 300/HMT数字流量控制器技术指标
编号 |
项目 |
S48 300/HMT |
1 |
流量规格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
4 |
安装角度 |
任意 |
5 |
流量控制范围 |
2%-高标准F.S. |
6 |
流量测量范围 |
0-高标准F.S. |
7 |
响应时间 |
≤ 1 sec |
8 |
工作环境温度 |
5-50℃ |
9 |
精度保证温度 |
15-35℃ |
10 |
精度 |
±1.0% S.P.(≥30% F.S.);±0.30% F.S.(<30% F.S.) |
11 |
线性精度 |
±0.5%F.S. |
12 |
重复性 |
±0.2%F.S. |
13 |
工作压差 |
-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 |
耐压 |
3MPa(G) |
15 |
泄漏率 |
<1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 |
接触气体材料 |
316L,Viton® 氟橡胶,PTFE |
17 |
管路接头 |
Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 |
供电电源 |
±15V(±5%),+15V,150mA;-15V,200mA |
19 |
设定信号 |
数字:RS485/RS232 模拟:0 - +5V,输入阻抗>10kΩ |
20 |
流量输出信号 |
数字:RS485/RS232 模拟:0 - +5V,负载能力≤3mA |
21 |
通讯接口 |
数字RS232/RS485,波特率4800/9600/19200bps, Modbus RTU 协议从机,设备号可选范围0-15 |
22 |
重量(kg) |
0.9 |
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