主营:气体流量计,质量流量计,气体质量流量计,显示仪,电磁阀,相关配件
所在地:
北京 北京
产品价格:
电议元/台(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2014-06-27
有效期至:
2014-07-27
产品详细
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点:
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行准确计量。
S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域:
半导体制造行业的气体流量控制;
分析仪器设备的气体计量与控制;
各种形式的真空镀膜设备;
环境检验与分析设备;
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检验和控制;
特种材料表面处理装置与燃烧控制;
混气配气系统和泄露探测系统等。
S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 |
项目 |
S49 32/MT |
1 |
流量规格 |
(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10)L/min |
2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
4 |
准确度 |
±1.5%F.S |
5 |
线性 |
±1.5%F.S |
6 |
重复精度 |
±0.2%F.S |
7 |
响应时间 |
≤8秒(T95) |
8 |
工作压差范围 |
(50~300)kPa; (100~300)kPa(10L/min) |
9 |
耐压 |
3MPa; 10MPa |
10 |
工作环境温度 |
(5~45)℃ |
11 |
材料 |
不锈钢316L |
12 |
标准密封材料 |
Viton®, EPDM, 或其他由用户指定 |
13 |
漏率 |
1×10-8Pa.m3/s |
14 |
接头 |
Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定 |
15 |
输入输出信号 |
(0~+5.00)V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) |
16 |
供电电源 |
±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA) |
17 |
外形尺寸mm |
130(宽)×102(高)×28(厚) |
18 |
重量kg |
0.8 |
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