主营:气体流量计,质量流量计,气体质量流量计,显示仪,电磁阀,相关配件
所在地:
北京 北京
产品价格:
电议元/台(大量采购价格面议)
最小起订:
1
发布时间:
2014-06-27
有效期至:
2014-07-27
产品详细
质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行准确测量和控制。质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM),用于对气体的质量流量进行准确测量。
S49 31 质量流量控制器和质量流量计特点:
☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。
☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。
☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。
☆配合MT-60 系列流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行准确计量。
S49 31 质量流量控制器和质量流量计主要应用领域:
半导体制造行业的气体流量控制;
分析仪器设备的气体计量与控制;
各种形式的真空镀膜设备;
环境检验与分析设备;
化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检验和控制;
特种材料表面处理装置与燃烧控制;
混气配气系统和泄露探测系统等。
S49系列质量流量控制器和质量流量计型号
S49 31 系列质量流量控制器,S49为质量流量控制器和质量流量计产品,31/MT为本公司此产品设计序列号。
其中:S49 31/MT 系列为质量流量控制器。
S49 31A/MT 系列为质量流量计。
质量流量计用于气体质量流量准确测量计量;质量流量控制器不但具有质量流量计的测量计量功能,还具有自动控制气体流量的功能。
S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标
编号 |
项目 |
S49 31/MT |
S49 31A/MT |
1 |
流量规格 |
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0~1,2,3,5)L/min |
|
2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
|
3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
|
4 |
准确度 |
±1%F.S(10mL/min~5L/min规格,其余规格≤±2% F.S) |
|
5 |
线性 |
±1.0%F.S,±1.5%F.S |
|
6 |
重复精度 |
±0.2%F.S |
|
7 |
响应时间 |
(3~4)s |
|
8 |
工作压差范围 |
(0.05~0.3)MPa; (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min |
|
9 |
耐压 |
3MPa; 10MPa |
|
10 |
工作环境温度 |
5℃~45℃ |
|
11 |
材料 |
不锈钢316L |
|
12 |
标准密封材料 |
Viton®, EPDM, 或其他由用户指定 |
|
13 |
漏率 |
1×10-9atm.mL/s (He) |
|
14 |
接头 |
Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR), 软管接头Ф4mm~Ф10mm 或其他 |
|
15 |
输入输出信号 |
0V~+5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) |
|
16 |
供电电源 |
±15V(±2%)(+15V 50mA, -15V 200mA) |
|
17 |
外形尺寸mm |
134×134×38 |
|
18 |
重量kg |
1.0 |
¥电议 元
¥电议 元
¥电议 元